石英舟的清洗和饱和处理方法

石英舟是什么？相信大家通过我们的产品介绍，已对此有所了解。对，石英舟又名石英玻璃，是一种二氧化硅高含量的耐酸材料。它独特的物理属性，决定了它的清洗和饱和处理方法的不同。下面我们就来为大家介绍一下石英舟的清洗和饱和处理方法。

1、石英舟的清洗：将石英舟放入浓度为10%～25%的氢氟酸进行浸泡40min～120min后，放入喷淋槽用纯水喷淋，喷淋时间为20min～90min；

2、清洗后的干燥：用气体干燥剂（比如氮气）吹干石英舟；

3、石英舟的饱和：将石英舟放入炉温为800℃～900℃的管式扩散炉中，通入氧气和流量为1000～3000ml/min三氯氧磷液态源，其中氧气和三氯氧磷液态源的流量比为1:1～5；

4、最后用10～30L/min的氮气或者氧气冷却石英舟。

采用上述清洗和饱和处理方法，具有以下显著有益效果：经过氢氟酸清洗的石英舟上的硅粉沉淀物松动，再放入喷淋槽用纯水喷淋，使得松动的硅粉沉淀物完全清除，再通过饱和工序中通过大流量的三氯氧磷液态源和氧气，使得存在“死角”部位的石英舟卡槽充分吸收磷原子，石英舟在进行初次运载硅片进行扩散时，硅片上将不会产生卡槽印，从而保证石英舟的品质。