石英舟是一种高温陶瓷制品,也称为石英舟晶圆舟、石英晶圆舟、石英玻璃等。其主要应用范围包括以下几个方面:
半导体行业
石英舟在半导体行业中有着广泛的应用,主要用于芯片制造过程中的高温热处理工艺中,用于燃烧化学蒸发、气相输运、淀积、扩散、蚀刻、退火等工序。石英舟具有高温耐腐蚀性能和良好的化学稳定性,能够承受高温高压环境,而且具有优异的热传导性能和热稳定性,可以保证热处理过程的高精度和高质量,从而获得更好的半导体产品质量。
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